A63.7080 Schottky-Feldemissionskanone Rasterelektronenmikroskop Std FEG SEM, 15x~500000x
A63.7080 Schottky-Feldemissionskanone Rasterelektronenmikroskop Pro FEG REM | ||
Auflösung | 1,5nm@15KV(SE); 3nm@20KV(BSE) | |
Vergrößerung | 15x~500000x | |
Elektronenkanone | Schottky-Emissions-Elektronenkanone | |
Elektronenstrahlstrom | 10pA~0.3μA | |
Beschleunigung von Voatage | 0~30KV | |
Vakuumsystem | 2 Ionenpumpen, Turbomolekularpumpe, mechanische Pumpe | |
Detektor | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) | |
BSE: Halbleiter-Rückstreudetektor mit vier Segmentierungen | ||
CCD | ||
Probenstadium | Euzentrischer Motortisch mit fünf Achsen | |
Reisebereich | X | 0~80mm |
Y | 0~50mm | |
Z | 0~30mm | |
R | 360º | |
T | -5º~70º | |
Max. Probendurchmesser | 175 mm | |
Änderung | EBL;STM;AFM;Heiztisch;Kryotisch;Zugtisch;Mikro-Nano-Manipulator;REM+Beschichtungsmaschine;REM+Laser etc. | |
Zubehör | Röntgendetektor (EDS), EBSD, CL, WDS, Beschichtungsmaschine usw. |
Die Rasterelektronenmikroskopie (sem) eignet sich zur Beobachtung der Oberflächentopographie von Metallen, Keramiken, Halbleitern, Mineralien, Biologie, Polymeren, Kompositen und nanoskaligen eindimensionalen, zweidimensionalen und dreidimensionalen Materialien (Sekundärelektronenbild, Rückstreuelektronenbild). Es kann verwendet werden, um die Punkt-, Linien- und Oberflächenkomponenten der Mikroregion zu analysieren. Es ist weit verbreitet in Erdöl, Geologie, Mineralbereich, Elektronik, Halbleiterbereich, Medizin, Biologie, chemischer Industrie, Polymermaterialbereich, strafrechtliche Ermittlungen der öffentlichen Sicherheit, der Land- und Forstwirtschaft und anderer Bereiche.
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