A63.7069 Wolfram-Filament-Rasterelektronenmikroskop, Std. REM, 6x~600000x
A63.7069 Wolfram-Filament Rasterelektronenmikroskop, Std. REM | ||
Auflösung | 3nm@30KV(SE); 6nm@30KV(BSE) | |
Vergrößerung | Negative Vergrößerung: 6x~300000x; Bildschirmvergrößerung: 12x~600000x | |
Elektronenkanone | Wolfram-beheizte Kathoden-vorzentrierte Wolfram-Filament-Patrone | |
Beschleunigungsspannung | 0~30KV | |
Linsensystem | Dreistufige elektromagnetische Linse (konische Linse) | |
Objektive Blende | Einstellbares Außenvakuumsystem mit Molybdänöffnung | |
Probenstadium | Fünf-Achsen-Bühne | |
Reisebereich | X(Auto) | 0~80mm |
Y(Auto) | 0~60mm | |
Z(Manuell) | 0~50mm | |
R(Manuell) | 360º | |
T (Manuell) | -5º~90º | |
Max. Probendurchmesser | 175 mm | |
Detektor | SE: Hochvakuum-Sekundärelektronendetektor (mit Detektorschutz) | |
BSE: Halbleiter-Rückstreudetektor mit vier Segmentierungen | ||
CCD | ||
Änderung | Bühnen-Upgrade;EBL;STM;AFM;Heizstufe;Kryo-Stufe;Zugbühne;Mikro-Nano-Manipulator;REM+Beschichtungsmaschine;REM+Laser | |
Zubehör | CCD,LaB6,Röntgendetektor (EDS),EBSD,CL,WDS,Beschichtungsmaschine | |
Vakuumsystem | Turbomolekularpumpen;Rotationspumpe | |
Elektronenstrahlstrom | 10pA~0,1μA | |
PC | Maßgeschneiderte Dell Workstation |
Die Rasterelektronenmikroskopie (sem) eignet sich zur Beobachtung der Oberflächentopographie von Metallen, Keramiken, Halbleitern, Mineralien, Biologie, Polymeren, Kompositen und nanoskaligen eindimensionalen, zweidimensionalen und dreidimensionalen Materialien (Sekundärelektronenbild, Rückstreuelektronenbild). Es kann verwendet werden, um die Punkt-, Linien- und Oberflächenkomponenten der Mikroregion zu analysieren. Es ist weit verbreitet in Erdöl, Geologie, Mineralbereich, Elektronik, Halbleiterbereich, Medizin, Biologie, chemischer Industrie, Polymermaterialbereich, strafrechtliche Ermittlungen der öffentlichen Sicherheit, der Land- und Forstwirtschaft und anderer Bereiche.
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